蔡司GeminiSEM300场发射扫描电子显微镜

一、仪器介绍：

仪器名称：场发射扫描电子显微镜

产品型号：GeminiSEM300

生产厂家：德国卡尔蔡司公司

二、主要部件：扫描电镜主机、能谱仪、80mm样品交换仓、离子溅射仪

三、主要性能指标：

分辨率： 0.8nm @15 kV，1.4 nm @1kV

放大倍数：12-2,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

探针电流： 3pA-20nA（100nA可选）

低真空范围： 10-500Pa （GeminiSEM300 VP可用）

样品室： 330 mm（φ），270 mm（h）

样品台：5轴优中心全自动，X=130mm，Y=130mm，Z=50 mm，T=-3^o-70^o，R=360^o

系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

四、主要功能及特色：

扫描电镜(SEM)广泛地应用于材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和

线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。